中科仪北交所上市网上路演成功举行 打造半导体真空设备自主可控标杆

2026年4月17日，中国科学院下属企业——中科仪（证券代码：920186）向不特定合格投资者公开发行股票并在北交所上市网上路演活动圆满举行。公司党委书记、董事长郭东民，首席技术专家李昌龙，副总经理、董事会秘书刘井岩，财务总监龚继华，以及保荐机构招商证券保荐代表人孙越、王越等嘉宾共同出席，与广大投资者进行了深入交流。

活动伊始，中科仪党委书记、董事长郭东民发表致辞。他表示，公司深耕真空装备领域七十余载，已成长为中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商。主营业务涵盖干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售及相关技术服务。依托真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心、国家企业技术中心三大国家级研发平台，中科仪构建了全链条自主创新体系，累计拥有103项发明专利，负责或参与起草了13项真空技术相关的国家、行业及团体标准。公司先后4次承担“国家极大规模集成电路制造装备及成套工艺（02专项）”，是该专项重点支持的集成电路零部件研制单位之一，并累计13次承担“04专项”“863计划”“国家重点研发计划”等国家级重大科研专项，是我国真空技术及科学仪器攻坚的主力军。

招商证券保荐代表人孙越在致辞中指出，作为国家级专精特新“小巨人”企业，中科仪是国内集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，也是唯一在集成电路先进制程实现批量应用、全工艺场景实现批量覆盖的国产厂商，成功打破了海外企业的长期垄断，为我国半导体产业链自主可控提供了核心支撑。公司核心技术均为自主研发并实现规模化产业化落地，产品已在国内主流晶圆制造企业大批量应用，并通过多家国际头部晶圆厂的测试验证，兼具深厚技术壁垒与成熟商业化能力。

公开资料显示，中科仪主营业务聚焦于洁净真空、超高真空技术领域，核心产品包括用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体领域的干式真空泵，以及面向国家重大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。公司先后荣获国家科学技术进步特等、一等、二等、三等奖共6项，中国科学院及省部级科技进步奖20余项，国家重点新产品6项。

本次发行股票数量为5200万股，采用战略配售、网下询价配售和网上定价相结合的方式。发行价为16.21元/股，申购日期为2026年4月20日。募集资金扣除发行费用后，将全部用于干式真空泵产业化建设项目、高端半导体设备扩产及研发中心建设项目、新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目。

在互动环节，公司管理层与保荐代表人就投资者关心的技术优势、市场拓展、募投项目规划等问题进行了详细解答，充分展现了公司对未来发展的坚定信心。中科仪将以此次北交所上市为契机，持续引领真空技术，支撑科技创新，促进产业发展，为国家战略新兴产业和重大科技创新体系建设贡献更大力量。

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