中微公司推出新一代电感耦合ICP等离子体刻蚀设备等四款新产品，高“设备”含量的科创半导体ETF华夏（588170）近5个交易日内有3天资金净流入

截至2026年3月25日13:57，科创半导体ETF华夏（588170）上涨2.05%，半导体设备ETF华夏（562590）上涨3.31%。

热门个股方面，欧莱新材上涨10.11%，新益昌上涨7.26%，芯源微上涨5.59%，天岳先进，中微公司等个股跟涨。

流动性方面，科创半导体ETF华夏盘中换手7.6%，成交6.37亿元；半导体设备ETF华夏盘中换手3.91%，成交9876.27万元。

规模方面，科创半导体ETF华夏近3月规模增长45.16亿元，实现显著增长，新增规模领先同类；半导体设备ETF华夏最新规模达24.50亿元。

资金流入方面，科创半导体ETF华夏最新资金净流出7699.25万元。拉长时间看，近5个交易日内有3日资金净流入，合计”吸金”8630.32万元，日均净流入达1726.06万元；半导体设备ETF华夏最新资金净流出4519.81万元。拉长时间看，近17个交易日内有10日资金净流入，合计“吸金”2.16亿元，日均净流入达1271.63万元。

消息面上，据中微公司消息，在SEMICON China 2026期间，中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”）宣布推出四款覆盖硅基及化合物半导体关键工艺的新产品，包括新一代电感耦合ICP等离子体刻蚀设备Primo Angnova™、高选择性刻蚀机Primo Domingo™、Smart RF Match智能射频匹配器以及蓝绿光Micro LED量产MOCVD设备Preciomo Udx®，进一步丰富了公司在刻蚀设备、薄膜沉积设备及核心智能零部件领域的产品组合及系统化解决方案能力。

申万宏源指出，全环节进入资本开支高峰期，国产半导体设备受益。SEMI预计至2026年中国大陆半导体设备市场依然将继续领跑所有地区，投资金额占全球比重约3成，本土设备厂商持续受益高强度资本开支。此外，设备国产化进入加速期，根据半导体行业协会公布数据，中国大陆使用本土半导体制造设备的占比已从2024年的25%提升至2025年的35%。

相关ETF：科创半导体ETF华夏（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。

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