涨价潮+扩产潮双击！半导体设备ETF（561980）盘中涨超3%，国产设备或迎订单潮

3月5日，半导体设备板块强势爆发。截至发稿，半导体设备ETF（561980）盘中上涨2.71%、一度涨超3%。权重股拓荆科技大涨超4%，中微公司、长川科技、华海清科、南大光电涨超3%，中晶科技涨超6%。；联动科技、金海通走强。

资金面持续火热。数据显示，该ETF最近5个交易日累计获资金净申购1.37亿元，最新规模约34亿元，显示市场对设备端的关注度正在快速升温。

消息面上，受AI芯片、HBM、逻辑处理器需求驱动，亚洲半导体厂商掀起新一轮扩产浪潮。TrendForce数据显示，2026年台积电、三星、SK海力士等主要芯片厂商资本支出预计将超过1360亿美元，同比增长约25%。其中台积电计划投入520亿-560亿美元创历史新高，三星、SK海力士重金押注HBM产能；中芯国际保持高水平投资，重点用于本土产能建设。

此外，行业景气迎多重验证。半导体行业近期迎来全面涨价潮，存储芯片、功率器件等环节价格普遍上调10%至80%，原材料成本上升和AI需求激增共同催化涨价。佰维存储此前公告1-2月净利润暴增超9倍，印证存储涨价周期业绩兑现阶段已至。英伟达2025年第四季度业绩超预期，AI服务器等领域需求强劲，进一步强化板块向上逻辑。

东吴证券指出，AI算力需求爆发驱动先进逻辑与存储芯片进入新一轮扩产周期。全球半导体设备市场规模持续创新高，中国大陆作为全球最大设备需求市场，连续四年蝉联榜首。在外部制裁强化、内部政策支持的背景下，半导体设备国产替代进入加速阶段。

半导体设备ETF（561980）跟踪中证半导，前十大重仓中微公司、北方华创、北方华创、中芯国际、海光信息、寒武纪、沪硅产业等半导体设备、材料和集成电路设计、制造业的龙头，100%覆盖四大核心产业链，前十大集中度高超75%。

截至3月4日，该指数自2020年、2025年至今分别上涨261%、77%，在科创芯片、半导体材料设备等同类指数中均位列第一，高弹性特征显著，或在新一轮半导体上行周期中更具反弹锐度。

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