近日,国内工业智能检测设备龙头日联科技(SH688531)携手参股公司超微(苏州)量测科技有限公司,正式发布UPM-SAT100系列超声波影像扫描系统。该产品聚焦半导体先进封装界面缺陷检测难题,凭借全套自主可控核心技术,填补国产高端超声显微镜性能缺口,成为先进封测领域国产化替代的标志性产品。
随着半导体产业快速迭代,3D堆叠、异质集成成为先进封装主流技术路线,芯片内部多层复合结构愈发复杂。相较于外观、体积类显性缺陷,层间分层、微空洞、界面裂纹、脱粘等隐性缺陷隐蔽性极强,在出厂常规检测中难以被识别。但搭载于车规芯片、AI算力器件、航天电子等高可靠整机产品后,经过温度循环、机械冲击、高低温交变等严苛工况考验,潜伏缺陷极易诱发器件失效,甚至出现单颗芯片故障引发整批产品报废的连锁损失,是高端半导体制造长期面临的质量管控痛点。
作为业内公认的界面缺陷检测核心技术,超声波扫描显微技术(SAM) 可通过捕捉声阻抗不连续界面的微弱反射信号,实现微观潜伏性缺陷精准成像,是保障先进封装良率、把控产品长期可靠性的刚需检测手段。长期以来,高端超声显微检测设备核心技术被海外垄断,国内封测、新材料、高端制造领域长期依赖进口设备,存在采购成本高、运维繁琐、定制适配性差等问题,国产化替代需求迫切。
此次发布的UPM-SAT100系列设备,被誉为先进封装领域的高端“工业B超”。设备基于高频超声无损检测原理,创新融合反射、透射双模式扫描技术,可实现各类界面缺陷的亚微米级高清成像,全面适配半导体封装、集成电路、新型材料、新能源器件的全流程检测需求,覆盖研发验证、制程调试、量产质检、失效复盘全场景。
核心技术层面,该系列设备实现四大关键零部件完全自研自主可控,彻底摆脱海外技术依赖,针对性解决行业长期痛点。
在核心硬件端,自研1MHz~500MHz全频段超声探头支持自动识别、即插即用,摒弃传统设备人工手动调参的繁琐流程,大幅提升产线换型效率;宽频高能脉冲发射接收仪实现一机多能,打破传统设备频段单一、需多机型搭配检测的弊端,单台设备可兼顾微米级薄件微缺陷与厚大工件深层检测,有效降低企业采购与运维成本。
在算法与数据端层面,设备搭载自研智能上位机控制系统,支持坐标自动寻中、一键对位,搭配百组断层扫描与缺陷智能运算功能,大幅降低人工操作门槛;自研多通道同步高速数据采集卡,具备强效降噪、信号保真能力,可精准捕捉微空洞、薄层分层、细微裂纹等微弱界面回波信号,杜绝微小缺陷漏检、误检问题。
产品整机性能实现效率与精度双向突破,具备极强的产业化适配能力。设备搭载400×400mm超大扫描幅面与1μm超高检测精度,兼顾批量检测效率与微观缺陷解析能力;集成光学成像定位模块,无需依赖工程师经验,可快速识别工件特征、锁定扫描区域;创新搭载厚度自适应实时对焦技术,不同规格样品换型无需人工调试参数,全程智能自动对焦,完美适配先进封装多品类、快迭代的量产节奏。
据了解,超微量测为日联科技重点布局的高端超声检测核心平台,公司核心团队深耕无损检测领域超25年,长期专注亚微米级高分辨率超声无损检测系统及核心零部件的研发、生产与销售。依托日联科技产业投资与平台资源赋能,团队全面掌握超高频超声传感器、精密运动控制、高精度成像算法等底层核心技术,深耕半导体、AI算力中心、新能源、高端新材料等高精尖领域,持续攻坚高端声学量测技术壁垒。
作为全球化工业智能检测平台化企业,日联科技已构建X光、超声、光学、失效分析多模态检测技术体系,实现软硬件数据一体化交付。依托与超微量测、SSTI的深度协同,公司形成“X射线看穿体积缺陷、超声看清界面缺陷、光电失效分析定位纳米级故障”的全谱缺陷检测能力,全方位覆盖半导体制造各类失效形态。
业内人士表示,单一检测技术已无法适配3D封装、异质集成的复杂失效场景。UPM-SAT100系列新品的落地,标志着日联科技成功补齐高端超声显微检测关键版图,进一步完善半导体全链条国产化检测解决方案。未来,公司将持续依托多模态平台化优势,加速高端检测装备国产化进程,为国内先进封测、高端半导体制造业高质量发展提供核心设备支撑。
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