再刷新高！半导体设备ETF招商(561980)盘中大涨超5.6%价格破3！中巨芯-U 20CM涨停

5月15日早盘，半导体产业链全线爆发。截至10时55分，半导体设备ETF招商(561980)放量大涨5.64%，盘中成交价再创历史新高。成分股表现尤为抢眼——中巨芯-U（688549）20CM涨停，强势封板；中微公司盘中大涨5.12%，股价最高触及407.00元。富创精密、拓荆科技、江化微等半导体设备与材料龙头同步大涨。

消息面上，氟化工概念股早盘集体走强。截至9时31分，中巨芯-U 20cm涨停，滨化股份、多氟多、中欣氟材同步涨停，巨化股份、三美股份等跟涨。据悉，韩国无水氢氟酸生产商开始从中国采购无水氢氟酸，价格较年初上涨约40%，推动国产替代加速。

政策层面迎来重磅利好。在第三十届（2026年度）中国资本市场论坛上，证监会副主席陈华平明确表示，将不断增强对科技创新企业服务的精准性、有效性，纵深推进科创板、创业板改革，深化再融资改革，加快健全多层次资本市场体系，推动优化私募股权创投募投管内循环，增强对科技创新企业的全生命周期服务能力。

分析称：政策支持、基本面复苏、国产替代加速三重共振，半导体设备板块正处“景气上行+订单兑现”的双击窗口。半导体设备ETF招商(561980)管理费率仅0.15%/年，100%覆盖设备、材料、设计、制造四大芯片核心产业链，2020年以来涨幅超335%，在同类指数中位居第一，是布局半导体国产替代浪潮的低成本核心工具。

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