直写光刻机技术突破！联动南大光电实现工艺配套；半导体设备ETF易方达（159558）盘中获净申购4.38亿份，近20日揽金97亿

截至11：20，中证半导体材料设备主题指数（931743）跌3.52%，权重股中微公司跌0.94%，北方华创跌3.88%，长川科技跌5.81%，拓荆科技跌6.24%，华海清科跌3.65%，中科飞测跌3.32%，江丰电子跌5.06%，华峰测控跌4.12%，芯源微涨0.57%，沪硅产业跌3.78%。截至前一交易日，该指数近1年涨178.5%。

半导体设备ETF易方达（159558）持续获得资金涌入，前一交易日获资金净流入4.4亿元。截至前一交易日，该基金连续三日净流入，合计“吸金”超18亿，近10日“吸金”超25亿，近20日“吸金”超97亿，近60日“吸金”超133亿。近一月获融资净买入3.24亿元，在同类ETF中排名第二。截至发稿，该基金盘中获净申购4.38亿份。

消息面上，芯碁微装直写光刻攻克3-4微米解析度，标志着国产直写光刻正式迈入国际先进水平的高端细分市场。3-4μm的解析度，足以满足目前主流及下一代Chiplet（芯粒）封装、2.5D/3D封装对高密度互连的需求，直接赋能通富微电、长电科技等封测厂的国产化产线建设。目前已在国内多家 PCB、载板头部工厂完成中试验证，实现小批量交付量产。

与此同时，芯碁微装与南大光电已完成全套工艺联合适配：南大光电光刻胶产品可在芯碁全系直写光刻设备上稳定走完曝光、显影全制程，成像各项指标均满足量产标准，可为国内封测、线路板厂商提供整套光刻环节国产化解决方案。

东吴证券指出，中国大陆作为全球最大设备需求市场，进口依赖度较高的涂胶显影、清洗、量检测、光刻等环节国产化率仍低于25%。在政策支持与大基金三期落地背景下，国内晶圆厂扩产将更加倾向国产设备采购。

半导体设备ETF易方达（159558）紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，该指数聚焦半导体设备与半导体材料领域，在国产化趋势中具备较强弹性。

易方达基金是国内领先的综合性资产管理机构，20余年指数投资专业沉淀。指数产品线全面布局主流宽基指数，涉及多个行业指数，覆盖跨境、跨市场指数，触达全球10余个交易所。专业指数投研团队，具备丰富的产品设计、投资管理经验。

半导体设备ETF易方达（159558）提供了一键布局这一高景气赛道的高效工具，在波动中把握产业趋势红利。场外投资者也可关注联接基金A/C（021893/ 021894）

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