我国真空技术及真空类科学仪器攻坚主力军：中科仪北交所成功过会丨A股融资快报

1月16日，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（简称：中科仪）顺利通过北京证券交易所上市委员会2026年第4次审议会议。

本次发行的中介机构包括保荐机构招商证券，保荐代表人孙越、王越；容诚会计师事务所（特殊普通合伙），签字会计师刘洪伟、王明健、张英通；北京市中伦律师事务所，签字律师都伟、尚红超、姚腾越，以及评估机构北京中企华资产评估有限责任公司，签字评估师马继跃、王晨煜。

中科仪成立于2001年4月，主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售及相关技术服务；产品主要包括用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体产品制造的干式真空泵，以及面向国家重大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。

作为国内领先的半导体制造设备核心部件提供商，公司长期专注于为集成电路、化合物半导体、航空航天等前沿领域提供洁净真空、超高真空解决方案，有效保障了我国集成电路制造设备关键零部件的自主可控和供应链安全。

值得一提的是，身为中国科学院下属专注于洁净真空、超高真空技术研究和发展的企业，中科仪拥有真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心、国家企业技术中心三个国家级研发平台，是我国真空技术及真空类科学仪器攻坚的主力军。

技术研发是中科仪构建核心竞争力的基石。依托中科院深厚的技术积淀，公司构建了以洁净真空、超高真空技术为核心的平台级技术体系，在干式真空泵的核心结构设计、流体力学优化、耐腐蚀材料应用等关键领域实现自主突破。公司持续加大研发投入，聚焦新一代产品迭代，2022年至2024年研发投入规模稳步增长，研发成果转化效率显著。

在干式真空泵领域，中科仪的研发创新打破欧美及日本企业的长期垄断：干式真空泵产品满足14nm先进逻辑芯片以及128层及以上3DNAND等存储器工艺的生产需要，已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛支持国内主流晶圆制造企业，以及客户A等国内主流集成电路设备制造企业，并已通过台积电、大连Intel、SK海力士的测试验证实现小批量出货。除硅基半导体外，公司干式真空泵产品也可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备，并已实现批量交付。

与此同时，中科仪是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业，有效保障了我国集成电路制造设备关键部件的自主可控和供应链安全。全景网了解到，在真空科学仪器设备领域，公司先后承担北京正负电子对撞机、兰州重离子加速器、合肥国家同步辐射装置、上海三代光源、北京高能同步辐射光源、上海硬X射线自由电子激光装置等11项国家重大科技基础设施的建设工作，是我国大科学装置关键真空部件光束线、波荡器、前端区等的最主要研制单位，其中公司作为上海光源主要参与者，于2013年获得国家科技进步一等奖。另外，公司前身成功研制了第一台国产分子束外延设备（MBE），打破国外长期禁运，在科研用MBE设备研制领域居于国内领先地位。

中科仪核心经营情况

业绩方面，中科仪近年来保持营收稳健增长态势。招股书（上会稿）显示，2022年-2024年，中科仪分别实现营业收入从6.98亿元、8.52亿元及10.82亿元，年均复合增长率达25.4%；对应净利润分别为4.98亿元、6.00亿元、1.93亿元；毛利率方面，公司综合毛利率保持行业合理水平，2022年至2024年分别为28.66%、33.02%、29.44%，体现出较强的成本控制与产品竞争力。2025年上半年，公司延续经营稳定态势，实现营业收入5.74亿元，净利润1.38亿元，毛利率达28.15%。

干式真空泵是集成电路各制程中实现真空环境所必需的零部件，集成电路产业15个主要工艺环节中的11个需要使用干式真空泵。受益于近年来集成电路产业的稳定增长，干式真空泵产业也保持着良好的发展态势。以12英寸晶圆生产线为例，业内通常每6万片/月产能需要约3,500台干式真空泵。SEMI《世界晶圆厂预测报告》统计数据显示，2023年全球晶圆产能约当12英寸为1,316万片/月，较2022年增长约68万片/月。据此测算，包括新增产能对干式真空泵的采购需求以及原有产能对干式真空泵的替换需求，2023年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为11.27万台，按单台泵均价10万元测算，全球市场规模约112.75亿元。同时，SEMI预计2024年全球晶圆产能较2023年增长84万片/月。据此测算，2024年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为12.57万台，市场规模约125.74亿元。行业拥有良好的发展前景。

中科仪募投项目情况（来源：招股书）

为持续强化研发与产业化能力，中科仪本次IPO拟募集资金8.25亿元，分别投向三大核心项目：其中，2.31亿元拟用于干式真空泵产业化建设项目，届时将提升产能至年产20040台；4.74亿元拟用于高端半导体设备扩产及研发中心建设项目，完善高端产品生产配套与研发体系；而1.21亿元则用于新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目，聚焦超高速节能泵、超高温泵等前沿产品。这一布局将进一步巩固公司在集成电路领域的优势，加速推进高端真空设备国产替代进程。

中科仪的成功过会，恰逢国内半导体产业链企业奔赴北交所上市的热潮期。在国产替代浪潮下，半导体设备及核心部件企业备受资本青睐，中科仪的上市进程不仅为自身发展注入动力，也将带动国内真空设备产业链的协同升级，为资本市场增添优质半导体核心资产。

中科仪干式真空泵产品主要面向集成电路和光伏产业，真空科学仪器设备产品主要面向科学仪器领域。其下游产业均为关系国计民生、国家重点支持的战略性新兴产业，将带动干式真空泵、真空科学仪器设备产业持续向好发展。业内人士表示，当前，全球半导体行业正迎来由先进制程升级与AI算力需求驱动的发展周期，国内晶圆制造企业资本开支稳步增长，为国产真空设备企业提供了难得的市场机遇。中科仪的成功过会，将进一步推动高端真空设备国产化替代，为我国半导体产业链安全稳定发展提供重要支撑。（全景网）

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