# 半导体设备ETF新高，年内涨超4成

5月12日，芯源微、华海清科、海光信息多股拉升新高，半导体设备ETF招商（561980）涨超2.5%再创上市新高，年内累涨超42%。该ETF跟踪中证半导，上游设备+材料含量约为8成，寒武纪、海光信息占比16％，2020年来涨幅大幅领先科创芯片和半导体材料设备。